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三維光學(xué)輪廓儀
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西班牙Sensofar平面度測(cè)量白光干涉儀S neox 0.65X,以?xún)?yōu)秀的橫向和縱向分辨率測(cè)量平面度。S neox搭配0.65X物鏡,具有最大視野的物鏡和最高精度的載物臺(tái),在平面度、平行度和臺(tái)階高度測(cè)量方面提供了最佳的表現(xiàn)。Sensofar自己設(shè)計(jì)的0.65X邁克爾遜物鏡旨在實(shí)現(xiàn)一個(gè)目的:以快速準(zhǔn)確的方式測(cè)量平面度。密集采樣、大視野和干涉測(cè)量的結(jié)合確保了所預(yù)期的效果。
西班牙Sensofar大視野3D光學(xué)輪廓儀S wide是專(zhuān)用系統(tǒng),適用于快速測(cè)量大樣品區(qū)域,測(cè)量面積最高可達(dá) 300 x 300 mm。它具有集成了數(shù)字顯微鏡的高分辨率測(cè)量?jī)x器的所有優(yōu)點(diǎn)。一鍵式采集功能,易于使用。
通過(guò)緊湊型設(shè)計(jì)和多功能性的統(tǒng)一結(jié)合,Sensofar集成式三維共聚焦白光干涉儀測(cè)量頭S mart2是市面上*的可集成的區(qū)域共聚焦傳感器,S mart 2 的設(shè)計(jì)非常易于集成,包括計(jì)算核心在內(nèi)的所有電子設(shè)備都在測(cè)量頭內(nèi)部。
此款西班牙Sensofar 5軸空間共聚焦白光干涉儀S neox Five Axis結(jié)合了高精度旋轉(zhuǎn)模塊和S neox 3D光學(xué)輪廓儀的先進(jìn)檢測(cè)和分析功能在規(guī)定的位置上實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)地3D表面測(cè)量,并結(jié)合在一起,完成全表面的3D立體測(cè)量。S neox 3D測(cè)量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度,包括輪廓變化(多焦面疊加技術(shù))、亞納米粗糙度(干涉測(cè)量技術(shù))或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率(共聚焦技術(shù))的臨界尺寸。
Sensofar多功能共聚焦白光干涉S lynx 2是一款專(zhuān)為工業(yè)和研究所設(shè)計(jì)的全新非接觸式3D光學(xué)輪廓儀。它設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔、用途多樣。Slynx能夠測(cè)量不同的材質(zhì),結(jié)構(gòu),表面粗糙度和波度,幾乎涵蓋所有類(lèi)型的表面形貌。它的多功能性能夠滿(mǎn)足廣泛的*形貌測(cè)量應(yīng)用。Sensofar的核心*是將3種測(cè)量方式融于一體,確保了其*的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng),用戶(hù)將獲得難以置信的直觀(guān)操作體驗(yàn)。
Sensofar 集成式白光干涉共聚焦顯微鏡測(cè)量頭S mart 的重量約只有S neox的一半(6kg),加上緊湊的外觀(guān)使的它在安裝上有更多選擇,例如可以直接在生產(chǎn)在線(xiàn)安裝做分析等。一般來(lái)說(shuō),在生產(chǎn)的環(huán)境中通常都會(huì)有震動(dòng)或有害物質(zhì)污染等因素而不適合放置量測(cè)儀器,但S mart在開(kāi)發(fā)時(shí)已經(jīng)考慮這些因素,一體成形的設(shè)計(jì)使得它能承受外部污染或震動(dòng)影響。
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